はじめての半導体計測★ビギナーズブックス★水野 文夫★株式会社 工業調査会★絶版★商品説明はじめての半導体計測 (ビギナーズブックス) 単行本
水野 文夫 (著) 株式会社 工業調査会 ★絶版本★ 2008/3/25 初版1刷発行 品です。


内容（「BOOK」データベースより）
計測の中で、半導体デバイスの研究・開発・製造に用いられる観測技術を「半導体計測」という。半導体デバイスが現在のIT(情報技術)時代・ユビキタス社会(どこにでもコンピュータが存在する社会)を支える土台であるとするならば、半導体計測はその土台を下支えする基礎になり、歩留まり向上などにも重要な役割を果たす。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。

著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より)
水野/文夫
明星大学・理工学部教授、工学博士、技術士(電気電子)。1970年、名古屋大学大学院・電子工学専攻・修士課程修了、(株)日立製作所勤務を経て2001年より明星大学に勤務。1995年R&D 100 Award(USA)、1996年市村賞受賞(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
目次


第1章 計測(計測とは
計測の機能
計測の性能
トレーサビリティ)
第2章 半導体計測(半導体計測の種類
半導体計測の特徴
半導体計測の手法)
第3章 主な半導体計測(パターン寸法・LER(LWR)・形状の観測
微粒子・パターン欠陥の検査
膜厚の測定
ウエーハ表面汚染物質の分析
補足:既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用)
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